| タイトル | 図解でわかる 半導体製造装置 |
|---|---|
| タイトルヨミ | ｽﾞｶｲ ﾃﾞ ﾜｶﾙ ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ |
| タイトル標目(ローマ字形) | Zukai de wakaru*hando^tai seizo^ so^chi |
| タイトル標目(漢字形) | ２５１Ａ１ |
| 著者 | 菊地正典∥監修 |
| 著者ヨミ | ｷｸﾁ,ﾏｻﾉﾘ |
| 著者標目(漢字形(西洋人以外の統一形)) | 菊地∥正典 |
| 著者標目(ローマ字形) | Kikuchi,Masanori |
| 著者標目(統一形典拠コード) | 10177794 |
| 件名標目(漢字形) | 半導体 |
| 件名標目(カタカナ形) | ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ |
| 件名標目(ローマ字形) | Hando^tai |
| 件名標目(典拠コード) | 00040537 |
| 出版者・頒布者等標目(ローマ字形) | Nihonjitsugyo^shuppansha |
| 出版者・頒布者等標目(漢字形) | ２７０Ｂ |
| 出版者 | 日本実業出版社 |
| 出版者ヨミ | ﾆﾎﾝｼﾞﾂｷﾞｮｳｼｭｯﾊﾟﾝｼｬ |
| 税込み価格 | \1,900 |
| 本体価格 | 1900円 |
| 内容紹介 | 半導体をつくるための装置である半導体製造装置。本書では、拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてを、現場の一流の技術者がわかりやすく徹底図解で解説する。 |
| ＩＳＢＮ | 978-4-534-04217-0 |
| ＪＰ－Ｎｏ | 00000000 |
| 出版地,頒布地等 | 東京 |
| 出版年月,頒布年月等 | 2007.4 |
| 刊行年 | 2007 |
| 出版者典拠コード | 000006319 |
| 出版者・頒布者等標目(出版者コード) | 5915 |
| ページ数等 | 182p |
| 大きさ | 21cm |
| NDC分類 | 549.8 |
| NDC8版 | 549.8 |
| 利用対象 | H |
| ウィークリー通巻番号 | 1235 |
| ウィークリー週号 | 2007044 |
| 出版国コード | JP |
| 一般的処理データ | 20070411 2007 0JPN 1213 |
| レコード作成機関(レコード提供年月日) | 20070411 |
| 改変レコード・コード | 0 |
| 目録用言語コード | JPN |
| キャラクタ・セット | 1213 |
| C分類 | 0055 |
| 表紙画像フラグ | 1 |