資料詳細
図解でわかる 半導体製造装置
- 著者 菊地正典∥監修
- 出版者 日本実業出版社
- 出版年 2007.4
- 内容紹介 半導体をつくるための装置である半導体製造装置。本書では、拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてを、現場の一流の技術者がわかりやすく徹底図解で解説する。
蔵書情報
| 登録番号 | 所蔵館 | 所蔵場所 | 請求記号 | 資料区分 | 禁帯区分 | 資料状態 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 31135621 | 閉架 | 閉２Ｆ | 549 ｽ | 一般書 |
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